金融界2025年3月20日音讯，国家知识产权局信息数据显现，江苏先导微电子科技有限公司获得一项名为“ALD载具以及ALD设备”的专利，授权公告号 CN 222631552 U，请求日期为2024年6月。
专利摘要显现，供给一种ALD载具以及ALD设备。ALD载具包含铝壳体、榜首PEEK承载直条、第二PEEK承载直条、第三PEEK承载直条及第四PEEK承载直条；铝壳体具有工艺内腔，工艺内腔具有中心面；榜首PEEK承载直条设于右壁面；第二PEEK承载直条的两端别离设于前后壁面，第二PEEK承载直条在左右方向上坐落中心面和榜首PEEK承载直条之间；第三PEEK承载直条设于前后壁面、在左右方向上坐落中心面和左壁面之间；第四PEEK承载直条设于左壁面；榜首PEEK承载直条、第二PEEK承载直条、第三PEEK承载直条及第四PEEK承载直条用于四点支撑衬底。ALD设备包含ALD载具。
天眼查资料显现，江苏先导微电子科技有限公司，成立于2021年，坐落徐州市，是一家以从事计算机、通讯和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册本钱58824万人民币，实缴本钱58824万人民币。经过天眼查大数据分析，江苏先导微电子科技有限公司参加招投标项目11次，产业线条，此外企业还具有行政许可13个。
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